单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置

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专利状态

单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置

有效

专利申请进度

申请

2021-12-31

申请公布

2022-05-10

授权

2023-09-26

预估到期

2041-12-31

专利基础信息

申请号	CN202111681257.4	申请日	2021-12-31
申请公布号	CN114457411A	申请公布日	2022-05-10
授权公布号	CN114457411B	授权公告日	2023-09-26
分类号	C30B15/02;C30B15/12;C30B29/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-09-26

授权

状态信息

授权
2022-05-27

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C30B15/02；申请日:20211231
2022-05-10

公布

状态信息

公布

摘要

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述方法包括：提供炉体、导气管以及加料器，炉体内装有双坩埚和加热器；将硅料装入双坩埚中，双坩埚包括外坩埚以及设置于外坩埚内的内坩埚；将导气管插入双坩埚中，并将加料器的加料管插入外坩埚；采用加热器加热熔化双坩埚内的硅料，得到硅液；通过导气管向双坩埚内通入反应气体，反应气体至少包括含卤气体，以使含卤气体与双坩埚内的硅液或者硅料中的金属杂质反应；通过所述加料管持续向所述外坩埚加入所述硅料，同时从所述内坩埚的硅液中拉晶，以得到单晶硅棒。本申请实施例中，可以减少从硅液中生长拉制的单晶硅棒的杂质，提升单晶硅棒的品质。

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