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专利状态
一种单晶炉用换热器及单晶炉
有效
专利申请进度
申请
2022-08-25
授权
2023-02-03
预估到期
2032-08-25
专利基础信息
申请号
CN202222256836.0
申请日
2022-08-25
授权公布号
CN218443441U
授权公告日
2023-02-03
分类号
F28D7/02;C30B15/00;C30B29/06
分类
一般热交换;
申请人名称
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址
陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
2023-02-03
授权
状态信息
授权
摘要
本申请提供了一种单晶炉用换热器及单晶炉,其中,单晶炉用换热器包括螺旋盘管、供液管和排液管,螺旋盘管围成两端开口的容纳空间,容纳空间用于收容单晶硅棒;螺旋盘管由中空的冷却管沿同一轴向盘旋绕设形成;供液管沿所述螺旋盘管外侧设置并与螺旋盘管的底部连通,用于向螺旋盘管提供冷却剂;排液管与所述螺旋盘管的顶部连通,用于将经螺旋盘管盘旋后的冷却剂排出。本申请实施例提供的换热器,增加了换热器的内表面积,降低了冷却剂的流阻,减小了冷却剂流动过程中形成的涡流,从而增强换热器对结晶潜热的吸收效率;同时,换热器与晶棒相邻面轴对称,热场温度中心和晶体中心重合,避免了因冷却不均导致的晶体直径、拉速的周期性波动。
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