• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
改善PERC高效电池片翘曲的背镀工艺
有效
专利申请进度
申请
2017-09-19
申请公布
2017-12-22
授权
2019-04-30
预估到期
2037-09-19
专利基础信息
申请号 CN201710846590.3 申请日 2017-09-19
申请公布号 CN107502874A 申请公布日 2017-12-22
授权公布号 CN107502874B 授权公告日 2019-04-30
分类号 C23C16/46;C23C16/34;C23C16/513;H01L31/0216;H01L31/068
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
专利法律状态
  • 2019-04-30
    授权
    状态信息
    授权
  • 2018-01-19
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/46申请日:20170919
  • 2017-12-22
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明涉及太阳能电池片技术领域,尤其是一种改善PERC高效电池片翘曲的背镀工艺,采用PEVCD对硅片的背面进行镀膜,使用多段式镀膜,每段镀膜过程中的温度均从480‑520℃冷却到380‑420℃,本发明的改善PERC高效电池片翘曲的背镀工艺因采用了分段式温度递减的循环工艺方案,同时避免了背镀时硅片一直处于高温状态容易翘曲及反应温度持续太低对镀膜质量产生影响的问题,实现背镀后的硅片不易翘曲,且整体膜厚均匀,提高生产效率及后续正镀产能的提升。