首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
一种辅热型PECVD管式镀膜炉
有效
专利申请进度
申请
2022-08-19
授权
2023-02-03
预估到期
2032-08-19
专利基础信息
申请号
CN202222210469.0
申请日
2022-08-19
授权公布号
CN218435947U
授权公告日
2023-02-03
分类号
C23C16/50;C23C16/46
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
常州亿晶光电科技有限公司
申请人地址
江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号
专利法律状态
2023-02-03
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供了一种辅热型PECVD管式镀膜炉,包括炉体、炉管和辅助加热装置,炉管沿炉体内壁环向间隔分布,辅助加热装置包括单行硅片加热装置和单列硅片加热装置,单行硅片加热装置沿石墨舟单行硅片方向布置在炉体内壁上;炉体内壁沿石墨舟单行硅片方向开有滑槽,单列硅片加热装置包括可移动加热电阻丝,该可移动加热电阻丝长度与石墨舟单列硅片宽度一致并平行于石墨舟单列硅片方向,可移动加热电阻丝滑动设置在滑槽上。本实用新型结构设计合理,设计可移动加热的电阻丝对石墨舟的单列硅片方向进行加热,可对应移动至石墨舟任意一列位置,在开启加热后提升厚度偏低区域的温度进而改善该区域厚度,使得镀膜整体均匀性得到改善。
更多专利
1
低压扩散风冷型炉门
2
中空玻璃光伏组件
3
改良型均匀出风风刀
4
一种用于太阳能电池的封装材料及其制备方法
5
光伏组件边框测试装置
6
生产线硅片导正装置
7
刻蚀硅片水膜去水装置
8
高效硅片印刷机
9
太阳电池扩散炉进气装置
10
一种花篮装置
11
一种基于物联网的智能型太阳能电池板检测装置
12
硅片翻转装置
13
防止传送轮交叉污染的硅片传送装置
14
改良型雾化喷淋结构
15
提升PERC背钝化效果的电池制备方法
16
一种太阳能电池防隐裂网版
17
一种利用绝缘边保护层来制备N型电池的方法
18
硅片槽式设备所用机械臂挂钩
19
自动在线式称量印刷湿重和烘干失重的设备
20
燃烧塔燃烧室
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部