磁性隧道结的自由层的制备方法及磁性隧道结的制备方法

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

磁性隧道结的自由层的制备方法及磁性隧道结的制备方法

有效

专利申请进度

申请

2016-10-14

申请公布

2018-04-24

授权

2021-07-13

预估到期

2036-10-14

专利基础信息

申请号	CN201610898368.3	申请日	2016-10-14
申请公布号	CN107958953A	申请公布日	2018-04-24
授权公布号	CN107958953B	授权公告日	2021-07-13
分类号	H01L43/12
分类	基本电气元件;
申请人名称	中电海康集团有限公司
申请人地址	浙江省杭州市余杭区文一西路1500号1幢311

专利法律状态

2021-07-13

授权

状态信息

授权
2021-07-09

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利申请权的转移；IPC(主分类):H01L 43/12；专利申请号:2016108983683；登记生效日:20210628；变更事项:申请人；变更前权利人:中电海康集团有限公司；变更后权利人:中电海康集团有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:311121 浙江省杭州市余杭区文一西路998号；变更后权利人:311121 浙江省杭州市余杭区文一西路1500号1幢311；变更事项:申请人；变更前权利人:；变更后权利人:浙江驰拓科技有限公司
2018-05-18

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L 43/12；专利申请号:2016108983683；申请日:20161014
2018-04-24

发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种磁性隧道结的自由层的制备方法及磁性隧道结的制备方法。该磁性隧道结的自由层的制备方法包括采用沉积工艺设置自由层的各膜层，采用第一等离子体处理各膜层中的一层或多层，以及对第一等离子体处理后的各膜层中的一层或多层进行第一退火处理。利用第一退火处理对第一等离子体处理之后的一层或多层膜层进行原位热处理，进而减少或者消除第一等离子体处理可能造成的损伤或缺陷，改善自由层的表面特性，进而提高具有该自由层的磁性隧道结的综合性能，比如提高磁性隧道结的TMR值，降低其RA值。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信