一种金属铝的刻蚀方法_专利查询-品牌网

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专利状态

一种金属铝的刻蚀方法

有效

专利申请进度

申请

2019-04-16

申请公布

2020-10-27

授权

2022-10-28

预估到期

2039-04-16

专利基础信息

申请号	CN201910304881.9	申请日	2019-04-16
申请公布号	CN111834289A	申请公布日	2020-10-27
授权公布号	CN111834289B	授权公告日	2022-10-28
分类号	H01L21/768;H01L21/311
分类	基本电气元件;
申请人名称	中电海康集团有限公司
申请人地址	浙江省杭州市余杭区文一西路1500号1幢311室

专利法律状态

2022-10-28

授权

状态信息

授权
2020-10-27

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种金属铝的刻蚀方法，所述方法包括：提供一测试铝线结构，所述测试铝线结构从下至上依次包括基底、底电极金属层、金属铝层、底部抗反射涂层和图形化的光刻胶层；对所述底部抗反射涂层进行BARC刻蚀，并剩余部分底部抗反射涂层；对剩余的部分底部抗反射涂层以及金属铝层进行BT刻蚀，停止于所述金属铝层并剩余部分金属铝层；采用终点检测法对剩余的部分金属铝层以及底电极金属层进行AL刻蚀；去除光刻胶。本发明能够有效解决现有技术中薄铝表面不平对关键尺寸和刻蚀形貌的影响以及铝线包不住铝通孔的问题，进而有效提高关键尺寸的均匀性，消除介质表面不平，有效提高刻蚀良品率。

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