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专利状态
一种OLED蒸镀基板传送装置
有效
专利申请进度
申请
2021-10-13
授权
2022-03-15
预估到期
2031-10-13
专利基础信息
申请号 CN202122464251.3 申请日 2021-10-13
授权公布号 CN216039790U 授权公告日 2022-03-15
分类号 C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54;H01L51/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 华映科技(集团)股份有限公司
申请人地址 福建省福州市马尾区儒江西路6号
专利法律状态
  • 2022-03-15
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开一种OLED蒸镀基板传送装置,装置包括磁力板和机械臂,磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵,磁力板上间隔设有若干通孔,每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒;基板铺设在磁力吸盘棒上,并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面;掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐,磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定;机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。本实用新型取消掩模片开孔,采用磁力板开孔及机构翻转方式,提高基板与掩膜板的对位精度,有利于OLED量产顺利进行。