一种掩膜板变形检测辅助装置

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专利状态

一种掩膜板变形检测辅助装置

有效

专利申请进度

申请

2023-08-03

授权

2024-03-15

预估到期

2033-08-03

专利基础信息

申请号	CN202322077758.2	申请日	2023-08-03
授权公布号	CN220602453U	授权公告日	2024-03-15
分类号	G01B11/16
分类	测量；测试;
申请人名称	华映科技（集团）股份有限公司
申请人地址	福建省福州市马尾区儒江西路6号

专利法律状态

2024-03-15

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种掩膜板变形检测辅助装置，所述装置包括透光载台、传动机构、摄像机以及控制系统；所述透光载台包括载台本体、透光板和阵列光源，所述透光板设置在所述载台本体中部，所述阵列光源均匀分布在所述透光板的下方；掩膜板放置于所述透光板上；所述传动机构设置在所述载台本体的上，所述摄像机位于所述透光板的上方，且所述摄像机的一侧固定在所述传动机构的活动端，所述传动机构用于控制所述摄像机沿所述透光板上方的掩膜板前后左右移动；所述摄像机、传动机构与控制系统电连接。本实用新型结构设计合理，可以更为准确快速的对掩膜板进行检测，辅助控制系统判定其变形情况。

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