一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置

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专利状态

一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置

有效

专利申请进度

申请

2022-07-12

授权

2023-04-21

预估到期

2032-07-12

专利基础信息

申请号	CN202221788563.8	申请日	2022-07-12
授权公布号	CN218895750U	授权公告日	2023-04-21
分类号	G01B11/06
分类	测量；测试;
申请人名称	福建龙溪轴承（集团）股份有限公司
申请人地址	福建省漳州市龙文区小港北路32号

专利法律状态

2023-04-21

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置，该装置包括：钨卤素灯光源模块，用于发射光束；第一凸透镜，用于将钨卤素灯光源模块的发射光准直为平行光束；迈克尔逊干涉仪模块，用于将光束分束为强度相等的两束光，作为参考光、探测光分别汇聚于参考镜、待测轴承涂层表面，反射后重合发生干涉，形成干涉光束；以及二维光谱仪模块，包括反射镜、反射式光栅、柱透镜和面阵CCD相机，干涉光束经反射镜传播至反射式光栅，并按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线，由面阵CCD相机采集获得二维干涉光谱条纹。该装置有利于获取自润滑轴承涂层厚度的二维干涉条纹图像，进而实现对自润滑轴承涂层厚度进行非接触无损检测。

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