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专利状态

集成式容栅传感器

有效

专利申请进度

申请

2020-11-26

授权

2021-10-29

预估到期

2030-11-26

专利基础信息

申请号	CN202022784702.7	申请日	2020-11-26
授权公布号	CN214542234U	授权公告日	2021-10-29
分类号	H01L27/06;H01L23/48;G01B7/02
分类	基本电气元件;
申请人名称	格科微电子（上海）有限公司
申请人地址	上海市浦东新区张江盛夏路560号2号楼11层

专利法律状态

2021-10-29

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供了一种集成式容栅传感器，包括：容栅结构与测量电路；所述测量电路形成在芯片的第一面；所述容栅结构形成于所述芯片的第二面，所述容栅结构与所述测量电路电性连接。本实用新型所提供的集成式容栅传感器中发射极板的最小栅宽由集成电路工艺决定，可以实现较高的高精度。

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