一种扩散源瓶及扩散源供应系统

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专利状态

一种扩散源瓶及扩散源供应系统

有效

专利申请进度

申请

2020-12-30

授权

2021-10-15

预估到期

2030-12-30

专利基础信息

申请号	CN202023287735.7	申请日	2020-12-30
授权公布号	CN214400802U	授权公告日	2021-10-15
分类号	C30B31/08;C30B31/18;C30B31/16;C30B29/06;H01L21/223;H01L31/18
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址	江苏省苏州市常熟市沙家浜镇常昆工业园区腾晖路1号

专利法律状态

2021-10-15

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开一种扩散源瓶及扩散源供应系统，包括：源瓶和连通管，所述源瓶与所述连通管连通，所述连通管上设置有感应器，所述连通管内的液位与所述源瓶内的液位一致，用于通过感应所述连通管内的液位以监控所述源瓶内的液位；所述感应器包括：低液位感应器，高液位感应器和超高液位感应器，所述低液位感应器、所述高液位感应器和所述超高液位感应器从下到上依次排列设置于所述连通管上，用于监控所述源瓶内的液位；能够实时监测源瓶内源液的液位，使得每台机的使用的源瓶里的源液能够保持安全液位，不需要频繁更换源瓶，有利于批量生产中保持工艺制程的稳定性。

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