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专利状态

一种扩散炉

有效

专利申请进度

申请

2020-04-07

授权

2021-01-29

预估到期

2030-04-07

专利基础信息

申请号	CN202020490166.7	申请日	2020-04-07
授权公布号	CN212426244U	授权公告日	2021-01-29
分类号	C30B31/16;
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址	江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园

专利法律状态

2021-01-29

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种改进的扩散炉，包括具有腔体的炉体，所述炉体具有相对的头部和尾部，所述头部设置有炉门，所述尾部上开设与所述腔体连通的通气口；所述扩散炉还包括气管，所述炉体的尾部上开设有供所述气管插入所述腔体的安装孔，所述气管插设于所述炉体中并伸至所述尾部外的第一端及位于所述腔体内的第二端，所述第二端伸至邻近所述炉门的位置；所述扩散炉还包括用于向所述腔体通入气体的进气管道及用于抽出所述腔体内的尾气的真空泵；所述进气管道和所述气管的第一端连接，所述真空泵和所述通气口连接。该扩散炉可以减少偏磷酸累积。

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