一种硅片插片用硅片缓冲装置

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专利状态

一种硅片插片用硅片缓冲装置

有效

专利申请进度

申请

2021-06-23

授权

2021-11-30

预估到期

2031-06-23

专利基础信息

申请号	CN202121399786.0	申请日	2021-06-23
授权公布号	CN214956794U	授权公告日	2021-11-30
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	中赣新能源股份有限公司
申请人地址	江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区

专利法律状态

2021-11-30

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置，属于硅片插片机领域，包括硅片盒，硅片盒上设有放置槽，放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。

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