一种用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件

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专利状态

一种用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件

有效

专利申请进度

申请

2021-06-25

授权

2021-11-30

预估到期

2031-06-25

专利基础信息

申请号	CN202121427857.3	申请日	2021-06-25
授权公布号	CN214956817U	授权公告日	2021-11-30
分类号	H01L21/687;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	中赣新能源股份有限公司
申请人地址	江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区

专利法律状态

2021-11-30

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件，属于硅片生产加工领域，包括夹具本体，该用于硅片样品的刻蚀的夹具及组件通过设置一个电机和两个相反螺纹的螺纹杆带动两个夹块和夹块底板相向移动对硅片进行夹紧固定，相反移动松开硅片，不仅省电还节省设备，同时电机一侧设置有散热槽，可有效将电机工作时产生的热量散出，从而保证电机的使用寿命，又该夹具设置有夹块和夹块底板，在夹块对硅片进行夹持的同时，夹块底板具有支撑较薄硅片底面的作用，从而保证硅片在被夹紧的同时，不会被夹块挤压折弯，又夹块和夹块底板的表面设置有保护垫和防滑条，在保证夹紧硅片的同时，不会发生磨损硅片的现象，利于使用。

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