一种硅片生产用脱胶机内转运装置

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专利状态

一种硅片生产用脱胶机内转运装置

有效

专利申请进度

申请

2021-06-24

授权

2021-11-30

预估到期

2031-06-24

专利基础信息

申请号	CN202121415733.3	申请日	2021-06-24
授权公布号	CN214956810U	授权公告日	2021-11-30
分类号	H01L21/683
分类	基本电气元件;
申请人名称	中赣新能源股份有限公司
申请人地址	江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区

专利法律状态

2021-11-30

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产用脱胶机内转运装置，属于硅片脱胶领域，包括机架，机架的表面对称固定安装有电动缸，电动缸的表面固定安装有支撑板，支撑板的表面放置有硅片，支撑板的表面对称固定安装有固定板，固定板的表面对称设有滑孔，滑孔的内壁滑动安装有顶杆，它通过弹簧的形变作用，可推动夹板对硅片进行夹紧固定，并在限位板的作用下，提高硅片的稳定效果，在电动缸的作用下，可推动支撑板沿机架内壁上移，从而带动硅片与刮板接触，通过电机带动螺纹轴的正反转动，在螺纹连接的关系下，可推动刮板进行往复移动，并在第一挡环、第二挡环的作用下，进行有效限位处理，从而彻底完成硅片表面脱胶作业。

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