一种防止硅片粘连的硅片承载器

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专利状态

一种防止硅片粘连的硅片承载器

有效

专利申请进度

申请

2021-06-23

授权

2021-11-30

预估到期

2031-06-23

专利基础信息

申请号	CN202121406504.5	申请日	2021-06-23
授权公布号	CN214956795U	授权公告日	2021-11-30
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	中赣新能源股份有限公司
申请人地址	江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区

专利法律状态

2021-11-30

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括底板，所述底板的两侧设置有移动板，所述移动板的两侧固定有立杆，所述立杆的表面套接有横杆，所述横杆的外表面均匀设置有分隔片，所述横杆的外端表面开设螺纹孔连接有第一螺纹顶丝，所述第一螺纹顶丝挤压在立杆的外表面，所述底板的表面开设凸形滑槽，所述移动板的下表面设置有凸形滑块，所述凸形滑块滑进凸形滑槽内，所述移动板的中端表面开设螺纹孔连接有第二螺纹顶丝，所述第二螺纹顶丝顶紧底板，通过采用两侧分布设置的分隔组件，其可上下左右调整位置，可根据硅片的大小进行调节使用，使用便捷灵活。

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