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专利状态
一种夹持装置和单晶炉
有效
专利申请进度
申请
2022-07-20
授权
2023-01-13
预估到期
2032-07-20
专利基础信息
申请号 CN202221917088.X 申请日 2022-07-20
授权公布号 CN218291180U 授权公告日 2023-01-13
分类号 C30B15/30;C30B29/06;C30B15/00
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2023-01-13
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了一种夹持装置和单晶炉,涉及直拉单晶生长技术领域,以解决现有技术中在取晶时晶棒易与副室相撞,致使晶棒掉落进而导致晶棒和单晶炉损坏的问题。所述夹持装置应用于单晶炉,该夹持装置包括:基架、支架、驱动件和夹持组件。两个支架设置于基架,至少一个支架与基架移动连接。驱动件与至少一个支架驱动连接,用于使两个支架沿相互靠近和远离的方向移动。每个支架上均设置一个夹持组件,两个夹持组件用于相互靠近以夹持晶棒以及相互远离以释放晶棒。本实用新型还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括副室和如上述技术方案所述的夹持装置。夹持装置设置于副室的侧壁,夹持组件沿副室的径向伸入副室内,用于夹持固定晶棒。