一种单晶硅棒拉制装置_专利查询-品牌网

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专利状态

一种单晶硅棒拉制装置

有效

专利申请进度

申请

2022-08-09

授权

2023-04-07

预估到期

2032-08-09

专利基础信息

申请号	CN202222092534.4	申请日	2022-08-09
授权公布号	CN218812215U	授权公告日	2023-04-07
分类号	C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;C30B27/02
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-04-07

授权

状态信息

授权

摘要

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置。单晶硅棒拉制装置包括：主炉体；坩埚，坩埚设置于所述主炉体内，用于容纳硅料；加热器，加热器设置于主炉体内，用于将坩埚内的硅料加热成硅液，以从硅液中生长单晶硅棒；以及传热组件，传热组件设置于所述单晶硅棒拉制装置内，传热组件在单晶硅棒通过时至少部分与单晶硅棒接触，以传导单晶硅棒的热量。本申请实施例中，传热组件可以至少部分与单晶硅棒接触，以将单晶硅棒的热量通过接触式传导的方式快速传导至传热组件，以提高单晶硅棒的纵向温度梯度，提高单晶硅棒的晶体生长速度，从而，增大单晶硅棒的拉制效率并降低单晶硅棒的生产成本。

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