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专利状态

硅片清洗装置

有效

专利申请进度

申请

2022-12-09

授权

2023-05-30

预估到期

2032-12-09

专利基础信息

申请号	CN202223319877.6	申请日	2022-12-09
授权公布号	CN219092950U	授权公告日	2023-05-30
分类号	B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00;B08B11/00;B08B3/04;H01L21/67
分类	清洁;
申请人名称	隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2023-05-30

授权

状态信息

授权

摘要

本公开涉及一种硅片清洗装置，硅片清洗装置包括：溶液槽清洗组，包括相连接的主溶液槽和至少一个辅助溶液槽，用于去除硅片表面有机物；双氧水槽清洗组，设置在溶液槽清洗组的下游，包括相连接的主双氧水槽和至少一个辅助双氧水槽，用于去除硅片表面的溶液；喷淋槽清洗组，包括设置在溶液槽清洗组上游的至少一个第一喷淋槽，用于冲洗硅片；漂洗槽清洗组，设置在双氧水槽清洗组的下游，包括相连接的主漂洗槽和至少一个辅助漂洗槽；以及依次设置在漂洗槽清洗组下游的慢提拉槽组和烘干槽组，烘干槽组包括相连接的主烘干槽和至少一个辅助烘干槽。

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