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专利状态
气体预热装置和沉积炉
有效
专利申请进度
申请
2023-07-24
授权
2024-03-01
预估到期
2033-07-24
专利基础信息
申请号 CN202321955416.X 申请日 2023-07-24
授权公布号 CN220550222U 授权公告日 2024-03-01
分类号 C23C16/448
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2024-03-01
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本公开涉及一种气体预热装置和沉积炉,气体预热装置包括第一单元壳,第一单元壳包括第一盖体和第一筒壳,第一筒壳形具有容纳空间,第一盖体上开设有多个第一通孔以与容纳空间连通;以及至少一个第二单元壳,第二单元壳包括第二盖体和第二筒壳,第二盖体固定安装于第二筒壳,第二筒壳和/或第二盖体开设有连通部;其中,至少一个第二单元壳从外向内依次嵌套在第一单元壳中,并且第二单元壳通过所述连通部与容纳空间连通。通过上述技术方案,该气体预热装置能够提升待预热气体的预热效果。