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专利状态
一种CVI沉积工装和CVI沉积炉
有效
专利申请进度
申请
2023-08-07
授权
2024-03-22
预估到期
2033-08-07
专利基础信息
申请号 CN202322113551.6 申请日 2023-08-07
授权公布号 CN220643256U 授权公告日 2024-03-22
分类号 C23C16/44;C23C16/26;C30B15/00
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2024-03-22
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型实施例提供了一种CVI沉积工装及CVI沉积炉,用于制备筒状碳/碳热场件,所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体,所述预制体围成筒状加热空间,所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口,所述第一开口大于所述第二开口,其特征在于,所述沉积工装包括:导流件,所述导流件包括设置有第一导流面的第一导流部;支撑件,在所述导流件位于所述加热空间内时,所述支撑件位于所述第一导流部与所述预制体之间,所述支撑件支撑所述第一导流面与所述预制体之间形成导流间隙,所述导流间隙用于引导碳源气体的扩散。这种结构更简单的沉积工装可以简化装炉和拆炉操作,有助于缩短沉积工艺的整体耗时,可提高沉积工艺效率。