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专利状态
一种上料装置及硅棒加工设备
有效
专利申请进度
申请
2022-07-12
授权
2023-01-13
预估到期
2032-07-12
专利基础信息
申请号 CN202221796565.1 申请日 2022-07-12
授权公布号 CN218285074U 授权公告日 2023-01-13
分类号 B24B41/00
分类 磨削;抛光;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号
专利法律状态
  • 2023-01-13
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型实施例提供了一种上料装置及硅棒加工设备,用于硅棒抛光前的上料定心,上料装置包括上料台、两个定位侧板和微调机构。两个定位侧板与上料台垂直固定连接,且两个定位侧板平行相对,两个定位侧板之间形成容纳硅棒的空间。每个定位侧板的端部固定连接有微调机构,当微调机构动作时,可以推动硅棒在水平面内转动,从而使硅棒调整至与抛光设备的装夹中心线平行,可在后续抛光时使硅棒轴线与抛光设备的装夹中心线准确重合。