金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及应用

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专利状态

金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及应用

有效

专利申请进度

申请

2017-05-27

申请公布

2017-09-08

授权

2019-06-18

预估到期

2037-05-27

专利基础信息

申请号	CN201710388329.3	申请日	2017-05-27
申请公布号	CN107146829A	申请公布日	2017-09-08
授权公布号	CN107146829B	授权公告日	2019-06-18
分类号	H01L31/18;H01L31/0236
分类	基本电气元件;
申请人名称	江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
申请人地址	江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室

专利法律状态

2019-06-18

授权

状态信息

授权
2017-10-10

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20170527
2017-09-08

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，其采用含碳化硅、水的制绒预处理液作介质，在超声波作用下对金刚线切割多晶硅片进行超声预处理2‑5min，得到制绒预处理多晶硅片；其中，所述超声处理时的超声频率为20‑100kHz，超声功率为1500‑3000W。所得制绒预处理多晶硅片的表面形成均匀、粗糙的损伤层，损伤层的厚度可与砂浆切割的多晶硅片的相媲美，从而可以采用现有的常规制绒工艺对其进行制绒处理。本发明还提供了一种制绒预处理多晶硅片，以及包含该制绒预处理方法的制绒方法及得到的制绒硅片产品。

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