中介层及包括该中介层的布置装置

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专利状态

中介层及包括该中介层的布置装置

有效

专利申请进度

申请

2021-03-18

授权

2021-11-30

预估到期

2031-03-18

专利基础信息

申请号	CN202120563635.8	申请日	2021-03-18
授权公布号	CN214956806U	授权公告日	2021-11-30
分类号	H01L21/683
分类	基本电气元件;
申请人名称	奥特斯（中国）有限公司
申请人地址	上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号

专利法律状态

2021-11-30

授权

状态信息

授权

摘要

一种用于布置在具有用于提供真空力的多个主真空通道（104）的真空抽吸装置（102）与要被处理的部件承载件结构（106）之间的中介层（100），其中，中介层（100）包括用于安装在真空抽吸装置（102）上并用于承载部件承载件结构（106）的中介层板（108），以及形成在中介层板（108）的相对两个主表面之间的次级真空通道（110）的网络（190），并且该次级真空通道（110）的网络（110）被配置成将在中介层板（108）的底部表面（116）处的由真空抽吸装置（102）的主真空通道（104）提供的真空力在空间上重新定向为在中介层板（108）的顶部表面（118）处的经重新定向的真空力模式。还提供了一种包括真空抽吸装置（102）和上述中介层（108）的布置装置（124）。

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