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专利状态
一种掩膜板贴合系统
有效
专利申请进度
申请
2022-08-02
授权
2022-11-01
预估到期
2032-08-02
专利基础信息
申请号 CN202222022205.2 申请日 2022-08-02
授权公布号 CN217709655U 授权公告日 2022-11-01
分类号 C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 华映科技(集团)股份有限公司
申请人地址 福建省福州市马尾区儒江西路6号
专利法律状态
  • 2022-11-01
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供一种掩膜板贴合系统,贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合,所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板,支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器,所述金属掩膜板设置在所述支撑框的上方,且所述金属掩膜板的四角分别架设在对应的压力传感器上,所述衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方,并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与所述衬底玻璃基板相贴合。本实用新型能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面,不产生缝隙,也不会压弯衬底玻璃基板,大大提高产品的质量。