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专利状态
一种真空可180°翻转镀膜夹具
有效
专利申请进度
申请
2018-12-21
申请公布
2019-03-15
授权
2021-04-06
预估到期
2038-12-21
专利基础信息
申请号 CN201811566408.X 申请日 2018-12-21
申请公布号 CN109468606A 申请公布日 2019-03-15
授权公布号 CN109468606B 授权公告日 2021-04-06
分类号 C23C14/50
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 福建福晶科技股份有限公司
申请人地址 福建省福州市软件大道89号F区9号楼
专利法律状态
  • 2021-04-06
    授权
    状态信息
    授权
  • 2019-08-20
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效
  • 2019-03-15
    公布
    状态信息
    公布
摘要
一种真空可180°翻转镀膜夹具,包括基片夹持翻转机构和拨动机构。本发明对表面法线具有180°对称的两个通光表面的待镀基片,对第二个通光表面的镀膜,有效消除了除膜层沉积步骤外其他的五个步骤,提高了生产效率。