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专利状态
一种多片晶棒滚圆装置
有效
专利申请进度
申请
2017-07-10
授权
2018-02-27
预估到期
2027-07-10
专利基础信息
申请号 CN201720827605.7 申请日 2017-07-10
授权公布号 CN207043881U 授权公告日 2018-02-27
分类号 B24B5/50;B24B5/35
分类 磨削;抛光;
申请人名称 福建福晶科技股份有限公司
申请人地址 福建省福州市软件大道89号F区9号楼
专利法律状态
  • 2018-02-27
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了一种多片晶棒滚圆装置。它包括金刚砂轮、树脂转轮、铝合金转轮轴、刻度手轮、调节旋钮、挡针、压板、底座和电动机。所述金刚砂轮和树脂转轮通过铝合金转轮轴固定在底座上,金刚砂轮用于晶棒洗磨工作,树脂转轮用于带动晶棒转动并控制进刀尺寸。所述刻度手轮通过控制树脂转轮水平方向位置,进而控制进刀尺寸。所述挡针固定在滚圆槽两侧,用于顶住两端晶体。所述压板固定在盖板上,通过调节旋钮调节压板垂直方向位置。洗磨液循环系统由另一个电动机控制,可以不断循环洗磨液。本滚圆装置结构简单,优越性在于多片同时滚圆,可加工不同规格的圆棒,不会损坏晶棒的端面,提高生产效率。