制备和分析薄膜的方法_专利查询-品牌网

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专利状态

制备和分析薄膜的方法

有效

专利申请进度

申请

2020-07-24

申请公布

2020-12-04

授权

2023-10-20

预估到期

2040-07-24

专利基础信息

申请号	CN202080001723.7	申请日	2020-07-24
申请公布号	CN112041671A	申请公布日	2020-12-04
授权公布号	CN112041671B	授权公告日	2023-10-20
分类号	G01N23/2202;G01N23/2251
分类	测量；测试;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2023-10-20

授权

状态信息

授权
2020-12-22

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01N23/2202；申请日:20200724
2020-12-04

公布

状态信息

公布

摘要

本公开的各方面提供了一种制备聚焦离子束（FIB）样本和在电子显微镜系统中分析该样本的方法。该方法可以包括：在衬底之上形成靶膜，该靶膜具有小于与针对FIB要求的限制对应的阈值的厚度；以及在该靶膜之上形成支撑膜。该方法还可以包括获得包括靶膜的一部分和支撑膜的一部分的FIB样本。该方法还可以包括在电子显微镜系统中分析靶膜的所获得的部分。

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