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专利状态

一种载台机构

有效

专利申请进度

申请

2022-08-16

授权

2023-01-03

预估到期

2032-08-16

专利基础信息

申请号	CN202222154013.7	申请日	2022-08-16
授权公布号	CN218215251U	授权公告日	2023-01-03
分类号	H01L21/683;H01L21/687;H01L21/677;H01L21/68
分类	基本电气元件;
申请人名称	苏州华兴源创科技股份有限公司
申请人地址	江苏省苏州市工业园区港田路青丘街青丘巷8号

专利法律状态

2023-01-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种载台机构，包括：基台；吸附件，设置在基台上以吸附产品；旋转组件，用以带动基台进行旋转调节；顶升组件，用以带动旋转组件进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件带动旋转组件上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件带动旋转组件下降至换料位。本实用新型提供的载台机构通过吸附件进行产品的吸附，由顶升组件进行升降调节，由旋转组件进行旋转调节，由平衡调节组件进行顶升组件的平衡调节，保证顶升组件的升降的稳定性，调节精度高；在换料组件的辅助下，载台机构换料便捷，换料精度高；在旋转组件上的位移感应组件的感应下，旋转平台调节位置精度高。

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