转台调节机构及检测装置_专利查询-品牌网

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专利状态

转台调节机构及检测装置

有效

专利申请进度

申请

2022-11-18

授权

2023-05-30

预估到期

2032-11-18

专利基础信息

申请号	CN202223067713.9	申请日	2022-11-18
授权公布号	CN219106075U	授权公告日	2023-05-30
分类号	H01L21/66;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

专利法律状态

2023-05-30

授权

状态信息

授权

摘要

本申请提供转台调节机构及具有该转台调节机构的检测装置。其中，转台调节机构包括：转动组件，包括底座和旋转板，旋转板可转动地设于底座上，用于带动晶圆转台转动；直线驱动组件，位于转动组件的一侧，包括驱动件、丝杆和移动块，驱动件连接于丝杆的一端，移动块套设于丝杆并与丝杆螺纹连接；连接组件，包括导轨、导轨连接板、转轴和旋转连接块，导轨固定设于移动块上，且导轨的延伸方向与丝杆的轴线垂直，导轨连接板移动连接导轨，转轴固定设于导轨连接板上，旋转连接块的一端套设于转轴上，另一端固定连接所述旋转板，使旋转板与转轴同步运动，有效保证转动精度，提高转动稳定性。

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