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专利状态

晶圆盒、晶圆搬运设备

有效

专利申请进度

申请

2022-04-06

授权

2022-11-11

预估到期

2032-04-06

专利基础信息

申请号	CN202220787585.6	申请日	2022-04-06
授权公布号	CN217788355U	授权公告日	2022-11-11
分类号	H01L21/673;H01L21/677
分类	基本电气元件;
申请人名称	深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

专利法律状态

2022-11-11

授权

状态信息

授权
2022-04-06

公布

状态信息

公布

摘要

本申请实施例公开一种晶圆盒、晶圆搬运设备，所述晶圆盒包括相对设置的两个承载件和面光源，两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口，所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆；所述面光源设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧，用于朝向所述容纳空间发光，所述面光源与所述取放口相对设置，能够达到对晶圆精准对位、搬运与自动化操作的目的。

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