晶圆上下料装置及晶圆检测设备

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

晶圆上下料装置及晶圆检测设备

有效

专利申请进度

申请

2022-11-18

授权

2023-05-30

预估到期

2032-11-18

专利基础信息

申请号	CN202223067727.0	申请日	2022-11-18
授权公布号	CN219106102U	授权公告日	2023-05-30
分类号	H01L21/677;H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	深圳市深科达智能装备股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

专利法律状态

2023-05-30

授权

状态信息

授权

摘要

晶圆上下料装置及晶圆检测设备。其中，晶圆上下料装置包括：载台组件，包括安装支架和晶圆载台，晶圆载台固定设于安装支架上，晶圆载台包括间隔设置的第一载台和第二载台；导轨组件，固定设于安装支架，并位于晶圆载台下方；取料组件，移动连接导轨组件，部分取料组件可移动地设于第一载台和第二载台之间，用于获取晶圆载台上的晶圆物料并携带晶圆物料移动；驱动组件，设置于导轨组件的一端，驱动组件传动连接取料组件，用于驱动取料组件沿导轨组件移动。载台组件、导轨组件、取料组件和驱动组件集成安装，晶圆物料放置位置和取料组件的取料位置保持固定，有利于提高晶圆物料的取料精度。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信