一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法

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专利状态

一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法

有效

专利申请进度

申请

2017-04-17

申请公布

2017-08-11

授权

2019-04-12

预估到期

2037-04-17

专利基础信息

申请号	CN201710250709.0	申请日	2017-04-17
申请公布号	CN107036552A	申请公布日	2017-08-11
授权公布号	CN107036552B	授权公告日	2019-04-12
分类号	G01B11/24
分类	测量；测试;
申请人名称	凌云科技集团有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市江汉区建设大道417号

专利法律状态

2020-04-07

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):G01B11/24；登记生效日:20200318；变更事项:专利权人；变更前:湖北工业大学；变更后:凌云科技集团有限责任公司；变更事项:地址；变更前:430068 湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号；变更后:430000 湖北省武汉市江汉区建设大道417号
2019-04-12

授权

状态信息

授权
2017-09-05

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01B11/24；申请日:20170417
2017-08-11

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法，装置包括计算机、光强可控式白光光源、第一透镜、滤光片旋转盘、分光棱镜、第二透镜、第三透镜、CCD相机、空间光调制器SLM、第四透镜；本发明利用纯相位调制式液晶空间光调制器实现精确的光学相移，应用光强可调的白光光源和四个带通滤波片得到四种光强分布一致的单色光，并利用多波长干涉的原理，通过合理尺寸衔接实现测量范围的拓展。在重复光学相移中，以轮换滤光片方式获取不同波长的干涉图像序列，并运用优化的四步相移法进行逐点逐帧相位运算，得到大尺度范围内形貌点高度。本发明既能满足跨尺度的测量范围要求，又能保持单波长干涉的纳米精度，具有重要的应用价值。

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