一种高纯电子级氯气纯化生产装置及其工艺

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专利状态

一种高纯电子级氯气纯化生产装置及其工艺

有效

专利申请进度

申请

2021-06-18

申请公布

2021-08-31

授权

2024-03-15

预估到期

2041-06-18

专利基础信息

申请号	CN202110680130.4	申请日	2021-06-18
申请公布号	CN113321184A	申请公布日	2021-08-31
授权公布号	CN113321184B	授权公告日	2024-03-15
分类号	C01B7/07
分类	无机化学;
申请人名称	湖北和远气体股份有限公司
申请人地址	湖北省宜昌市长阳土家族自治县龙舟坪镇龙舟大道52号（馨农家园）2栋1102号

专利法律状态

2024-03-15

授权

状态信息

授权
2021-08-31

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种高纯电子级氯气纯化生产装置及其工艺，包括液氯储罐、汽化器、氯水洗涤塔、冷凝塔、吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、膜压机、过滤器和收集瓶，液氯储罐连通于汽化器，汽化器通过氯水洗涤塔连通于冷凝塔，冷凝塔通过吸附器连通于脱轻精馏塔，脱轻精馏塔连接脱重精馏塔，脱重精馏塔通过膜压机连通于收集瓶，膜压机与收集瓶之间连接有过滤器。本发明采用液相进料避免三氯化氮富集在液氯储罐与液氯发生爆炸，氯水洗涤塔和脱重精馏塔可以除去三氯化氮，避免三氯化氮污染高纯氯气，氯水洗涤塔可以除去金属氯化物和非金属氯化物，提高氯气的纯度，避免了对电子材料的影响；吸附器、脱轻精馏塔和脱重精馏塔，可提高对其他气体去除效果；提高氯气的纯度。

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