一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统

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专利状态

一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统

有效

专利申请进度

申请

2017-09-13

授权

2018-04-27

预估到期

2027-09-13

专利基础信息

申请号	CN201721189615.9	申请日	2017-09-13
授权公布号	CN207270975U	授权公告日	2018-04-27
分类号	B01D50/00
分类	一般的物理或化学的方法或装置;
申请人名称	湖北和远气体股份有限公司
申请人地址	湖北省宜昌市长阳龙舟坪镇七里湾

专利法律状态

2018-04-27

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提出了一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，包括依次管道连接的真空泵、风机、H型管、旋风除尘器、脱油吸附筒和布袋除尘器，所述布袋除尘器出气口设有氧含量检测仪，且布袋除尘器出气口通过两个分支管道分别连接至副气囊和主气囊，两个分支管道上分别设置第一调节阀和第二调节阀；所述副气囊通过带有第三调节阀的管道连通至主气囊，所述主气囊通过管道连接至空气压缩机；所述氧含量检测仪电路连接至控制器，所述控制器分别连接第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀。本实用新型不改变炉体控制系统，将排放的空气和富氩气全部回收，再经过提纯处理得到高纯氩气，而且整个系统可以彻底清除油和灰尘。

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