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专利状态
半导体生物传感器及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2016-05-04
申请公布
2016-09-21
授权
2018-02-16
预估到期
2036-05-04
专利基础信息
申请号
CN201610290858.5
申请日
2016-05-04
申请公布号
CN105957866A
申请公布日
2016-09-21
授权公布号
CN105957866B
授权公告日
2018-02-16
分类号
H01L27/10;H01L27/102;H01L27/105;H01L21/77
分类
基本电气元件;
申请人名称
上海小海龟科技有限公司
申请人地址
上海市宝山区江南路180号B303
专利法律状态
2018-02-16
授权
状态信息
授权
2016-10-19
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/10申请日:20160504
2016-09-21
公布
状态信息
公开
摘要
本发明涉及半导体技术领域,公开了一种半导体生物传感器及其制备方法。半导体生物传感器包含衬底,形成在衬底之上的外延层,形成在外延层中的离子敏感场效应晶体管的源区、漏区以及双极型晶体管的基区和发射区,形成在外延层上离子敏场效应晶体管的源区、漏区之间的栅氧化层,形成在栅氧化层之上的离子敏感场效应晶体管的栅区;离子敏感场效应晶体管的衬底,作为双极型晶体管的集电区;集电区、发射区、源区和栅区均通过金属互连线引出,作为半导体生物传感器的集电极、发射极、源极和栅极。本发明半导体生物传感器结构简化,从而使其便于集成和封装。
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