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专利状态

光罩清洁装置

有效

专利申请进度

申请

2021-08-23

授权

2022-01-25

预估到期

2031-08-23

专利基础信息

申请号	CN202121991370.8	申请日	2021-08-23
授权公布号	CN215613396U	授权公告日	2022-01-25
分类号	B08B1/00;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
分类	清洁;
申请人名称	上海禾赛科技有限公司
申请人地址	上海市嘉定区新徕路468号园区二号楼

专利法律状态

2022-01-25

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种光罩清洁装置，适用于激光雷达，包括清洁部件，环绕套设于所述激光雷达的光罩的外表面；驱动部件，用于驱动所述清洁部件沿所述光罩的外表面运动；喷射部件，设置于支撑所述激光雷达的底座，用于向所述激光雷达的光罩的外表面喷射清洁液；本实用新型所提供的光罩清洁装置，通过将所述喷射部件和所述清洁部件设置在不同的位置，使得所述喷射部件和所述清洁部件能够在独立工作的同时相互配合完成对所述光罩的清洁工作，降低了对光罩清洁装置的控制难度，进一步提高了光罩的清洁效果。

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