机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

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专利状态

机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

有效

专利申请进度

申请

2021-04-19

授权

2021-11-26

预估到期

2031-04-19

专利基础信息

申请号	CN202120802092.0	申请日	2021-04-19
授权公布号	CN214870645U	授权公告日	2021-11-26
分类号	B25J15/00;B25J15/08;B25J11/00
分类	手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
申请人名称	深圳众为兴技术股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市南山区艺园路马家龙田厦产业园（原27栋-29栋）5-001室

专利法律状态

2021-11-26

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行机构适用不同层间距的放置盒。

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