一种制作太阳能电池的扩散方法

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专利状态

一种制作太阳能电池的扩散方法

有效

专利申请进度

申请

2011-09-22

申请公布

2013-04-03

授权

2016-02-17

预估到期

2031-09-22

专利基础信息

申请号	CN201110283642.3	申请日	2011-09-22
申请公布号	CN103022229A	申请公布日	2013-04-03
授权公布号	CN103022229B	授权公告日	2016-02-17
分类号	H01L31/18;C30B31/06
分类	基本电气元件;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

专利法律状态

2019-07-02

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L31/18；变更事项:专利权人；变更前:中建材浚鑫科技股份有限公司；变更后:中建材浚鑫科技有限公司；变更事项:地址；变更前:214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号；变更后:214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2016-02-17

授权

状态信息

授权
2014-03-19

著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):H01L31/18；变更事项:申请人；变更前:浚鑫科技股份有限公司；变更后:中建材浚鑫科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前:214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号；变更后:214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2013-05-01

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20110922
2013-04-03

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种制作太阳能电池的扩散方法，包括：将待处理的硅片放入扩散炉中，将扩散炉的温度升高至第一设定温度；在第一设定温度下，向扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在硅片表面进行磷源扩散；将扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度，在温度升高的过程中向扩散炉中通入氧气和氮气，进行推结，使磷原子扩散至硅片内部；降低扩散炉的温度，完成扩散过程，取出制结后的硅片。该扩散方法能提高扩散薄膜层电阻的均匀性，提高太阳能电池的转换效率，进而提高太阳能电池的性能。

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