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专利状态
一种在线检测硅片装置
有效
专利申请进度
申请
2015-05-29
授权
2015-11-18
预估到期
2025-05-29
专利基础信息
申请号
CN201520361671.0
申请日
2015-05-29
授权公布号
CN204792704U
授权公告日
2015-11-18
分类号
H01L21/66
分类
基本电气元件;
申请人名称
中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址
江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
专利法律状态
2019-07-23
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
状态信息
专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):H01L 21/66变更前 专利权人:中建材浚鑫科技股份有限公司 地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更后 专利权人:中建材浚鑫科技有限公司 地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2015-11-18
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及产品检测技术领域,具体地说是一种在线检测硅片装置,包括外壳、第一感应器、第二感应器、轨道转换门、检测头、第一传送轨道和第二传送轨道,所述外壳设置于第一传送轨道上,所述外壳上设有观察门,所述检测头设置于外壳内侧顶部中心位置,检测头正对的第一传送轨道上设有第一感应器,所述第二传送轨道设置于第一传送轨道下方,且与第一传送轨道连接处设有轨道转换门,轨道转换门上设有第二感应器。本实用新型可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测,将带有裂纹的坏片自动分离出来。
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