一种P型单晶PERC双面电池及其制作方法

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专利状态

一种P型单晶PERC双面电池及其制作方法

有效

专利申请进度

申请

2019-08-08

申请公布

2019-11-12

授权

2021-06-29

预估到期

2039-08-08

专利基础信息

申请号	CN201910729295.9	申请日	2019-08-08
申请公布号	CN110444634A	申请公布日	2019-11-12
授权公布号	CN110444634B	授权公告日	2021-06-29
分类号	H01L31/18;H01L31/048;H01L31/068
分类	基本电气元件;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港街道镇澄路1011号

专利法律状态

2021-06-29

授权

状态信息

授权
2019-12-06

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20190808
2019-11-12

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种P型单晶PERC双面电池及其制作方法，包括如下步骤：步骤S1，表面制绒；步骤S2，扩散形成PN结；步骤S3，周边刻蚀及背面抛光；步骤S4，二氧化硅层制备；步骤S5，背面叠层膜制备；步骤S6，正面氮氧化硅层制备；步骤S7，背面激光开槽；步骤S8，正、背面电极制备。经本发明制作方法制备的P型单晶PERC双面电池，正面采用二氧化硅/氮氧化硅膜层结构代替常规氮化硅膜层，折射率可调控，可有效解决正面PID问题；背面采用AlOx/SixOyNz/SixCyNz叠层膜，具有很好的化学稳定性和很强的抗杂质扩散和水汽渗透能力；SiOxNy/SixCyNz膜层相比常规SiNx膜层，可有效解决背面PID问题，此外，SiOxNy/SixCyNz膜层的折射率可根据不同反应气体的比例而变化，具有良好的光学和电学特性。

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