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专利状态
一种用于CZTS薄膜的旋涂装置及制备CZTS电池的方法
有效
专利申请进度
申请
2016-12-16
申请公布
2017-04-26
授权
2018-06-29
预估到期
2036-12-16
专利基础信息
申请号 CN201611168025.8 申请日 2016-12-16
申请公布号 CN106601873A 申请公布日 2017-04-26
授权公布号 CN106601873B 授权公告日 2018-06-29
分类号 H01L31/18;B05D1/40;C23C14/35;C23C14/08
分类 基本电气元件;
申请人名称 苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园腾晖路1号
专利法律状态
  • 2018-06-29
    授权
    状态信息
    授权
  • 2018-03-16
    著录事项变更
    状态信息
    著录事项变更IPC(主分类):H01L 31/18变更前 申请人:中利腾晖光伏科技有限公司 地址:215542 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园腾晖路1号变更后 申请人:苏州腾晖光伏技术有限公司 地址:215542 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园腾晖路1号
  • 2017-05-24
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20161216
  • 2017-04-26
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明公开了一种用于CZTS薄膜的旋涂装置,其可以减少CZTS薄膜上微裂纹的形成;本发明还公开了一种基于该旋涂装置制备CZTS电池的方法,制得的CZTS电池的CZTS薄膜微裂纹较少,改善电池性能。用于CZTS薄膜的旋涂装置,包括中空的外壳、可转动地设置在所述外壳内的用于吸合衬底的托盘,其特征在于:所述托盘内嵌设有电阻丝,所述电阻丝的两端分别固定连接有金属接触电极,所述旋涂装置还包括用于供电的主机、两个分别与所述主机的正负极固定相接的金属摩擦片,两个所述金属摩擦片固定设置在所述外壳内,其中一个所述金属摩擦片和其中一个所述金属接触电极保持接触且另一个所述金属摩擦片和另一个所述金属接触电极保持接触以在托盘转动时为所述电阻丝连续供电。