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专利状态

一种扩散炉

有效

专利申请进度

申请

2020-08-04

授权

2021-04-20

预估到期

2030-08-04

专利基础信息

申请号	CN202021598849.0	申请日	2020-08-04
授权公布号	CN213013168U	授权公告日	2021-04-20
分类号	H01L31/18;C30B29/06;H01L31/028;C30B31/16;H01L31/06
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址	江苏省苏州市常熟沙家浜常昆工业园腾晖路1号

专利法律状态

2021-04-20

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种扩散炉，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的两侧分别为炉门和炉尾，所述扩散炉本体的位于所述炉尾一侧底部的内侧面位置开设有容纳延伸管的孔，所述延伸管的一端连接至进气管道，另一端位于所述扩散炉本体内部的靠近所述炉门的位置，且所述扩散炉本体炉尾的出口依次连接至出气管道和抽真空装置。本申请提供的上述扩散炉，能够避免炉口累积酸液产生腐蚀，提高石英管的使用寿命，降低保养的频率，避免积液进入真空泵造成损坏，提高真空泵的使用寿命。

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