一种基础异质结太阳能电池及其制备工具

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专利状态

一种基础异质结太阳能电池及其制备工具

有效

专利申请进度

申请

2020-12-28

授权

2021-09-14

预估到期

2030-12-28

专利基础信息

申请号	CN202023213243.3	申请日	2020-12-28
授权公布号	CN214203710U	授权公告日	2021-09-14
分类号	H01L31/0745;H01L31/0236;H01L31/20
分类	基本电气元件;
申请人名称	苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址	江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园

专利法律状态

2021-09-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种基础异质结太阳能电池及其制备工具。该基础异质结太阳能电池，包括硅片、形成于所述硅片上的本征非晶硅层、形成于所述本征非晶硅层上的掺杂非晶硅层、形成于所述掺杂非晶硅层上的透明导电氧化物薄膜及形成于所述透明导电氧化物薄膜上的金属电极，所述基础异质结太阳能电池具有隔离沟道，所述隔离沟道自所述硅片的表面依次贯穿所述本征非晶硅层、所述掺杂非晶硅层和所述透明导电氧化物薄膜，所述隔离沟道位于需要对硅片进行划片的位置处。本实用新型能够避免在划片分切时损伤非晶硅层和导电薄膜层。

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