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专利状态
一种背接触式太阳能电池及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2021-03-08
申请公布
2021-07-16
授权
2022-06-24
预估到期
2041-03-08
专利基础信息
申请号 CN202110251502.1 申请日 2021-03-08
申请公布号 CN113130702A 申请公布日 2021-07-16
授权公布号 CN113130702B 授权公告日 2022-06-24
分类号 H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/0352
分类 基本电气元件;
申请人名称 广东爱旭科技有限公司
申请人地址 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
专利法律状态
  • 2022-08-02
    专利申请权、专利权的转移
    状态信息
    专利权的转移;IPC(主分类):H01L 31/18;专利号:ZL2021102515021;登记生效日:20220720;变更事项:专利权人;变更前权利人:浙江爱旭太阳能科技有限公司;变更后权利人:浙江爱旭太阳能科技有限公司;变更事项:地址;变更前权利人:322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号;变更后权利人:322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号;变更事项:专利权人;变更前权利人:广东爱旭科技有限公司 天津爱旭太阳能科技有限公司;变更后权利人:广东爱旭科技有限公司 天津爱旭太阳能科技有限公司 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
  • 2022-06-24
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-08-03
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):H01L 31/18;专利申请号:2021102515021;申请日:20210308
  • 2021-07-16
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种背接触式太阳能电池及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:S1、在硅片的背面形成交替设置的n+掺杂层和n++掺杂层;S2、在n+掺杂层和n++掺杂层上形成掩膜层;S3、去除部分的掩膜层和n+掺杂层,以形成第一开孔;S4、除去掩膜层,并对电池片半成品的背面进行制绒;S5、对电池片进行退火,并在电池片的正面依次形成Al2O3层和SiNx层;S6、在电池片的背面形成SiNx钝化膜;S7、对第一开孔内的SiNx钝化膜进行刻蚀,形成刻蚀至硅片的开槽;S8、形成N型电极和P型电极。本发明的制备方法工艺简单,成本低。