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专利状态
PERC电池的背面膜层的制作方法和PERC电池
有效
专利申请进度
申请
2021-07-09
申请公布
2021-11-02
授权
2024-01-30
预估到期
2041-07-09
专利基础信息
申请号 CN202110780056.3 申请日 2021-07-09
申请公布号 CN113584461A 申请公布日 2021-11-02
授权公布号 CN113584461B 授权公告日 2024-01-30
分类号 C23C16/50;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/52;H01L31/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广东爱旭科技有限公司
申请人地址 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号
专利法律状态
  • 2024-01-30
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-11-19
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C16/50;申请日:20210709
  • 2021-11-02
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本申请适用于太阳能电池技术领域,提供了一种PERC电池的背面膜层的制作方法和PERC电池。PERC电池的背面膜层的制作方法包括:在待沉积背面膜层的电池基片上沉积氧化铝层,氧化铝层的厚度小于5nm;在沉积了氧化铝层的电池基片上沉积氮氧化硅层;在沉积了氮氧化硅层的电池基片上沉积氮化硅层和氧化硅层。如此,使得TMA耗量低,对背膜后的激光开槽工艺要求较低,背面电路与硅基体的接触电阻较低,PERC电池的光电转换效率高。