具有微桥结构的红外探测器及其制造方法

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专利状态

具有微桥结构的红外探测器及其制造方法

有效

专利申请进度

申请

2017-02-15

申请公布

2017-05-10

授权

2019-07-12

预估到期

2037-02-15

专利基础信息

申请号	CN201710080817.8	申请日	2017-02-15
申请公布号	CN106629578A	申请公布日	2017-05-10
授权公布号	CN106629578B	授权公告日	2019-07-12
分类号	B81B7/02;B81C1/00;G01J5/10
分类	微观结构技术〔7〕;
申请人名称	浙江大立科技股份有限公司
申请人地址	浙江省杭州市滨江区滨康路639号

专利法律状态

2019-12-10

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):B81B7/02；登记生效日:20191121；变更事项:专利权人；变更前:浙江大立科技股份有限公司；变更后:浙江大立科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前:310053 浙江省杭州市滨康路639号；变更后:310053 浙江省杭州市滨江区滨康路639号；变更事项:共同专利权人；变更后:中国南方电网有限责任公司超高压输电公司天生桥局
2019-07-12

授权

状态信息

授权
2017-06-06

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B81B7/02；申请日:20170215
2017-05-10

公布

状态信息

公布

摘要

一种具有微桥结构的红外探测器及其制造方法，所述红外探测器包括：基底，所述基底表面内形成有金属互连层；部分悬空于所述基底上方的图形化的微桥结构，所述微桥结构包括桥腿和桥梁，所述桥腿与所述金属互连层电连接，所述桥梁悬空且向上翘起；部分悬空于微桥结构上方的图形化的红外敏感层，且所述红外敏感层与所述微桥结构的桥梁电连接，由所述桥梁支撑。所述红外探测器的良率提高，具有更高的性能。

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