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专利状态
组装结构
有效
专利申请进度
申请
2012-06-29
申请公布
2014-01-15
授权
2016-05-11
预估到期
2032-06-29
专利基础信息
申请号
CN201210220839.7
申请日
2012-06-29
申请公布号
CN103515347A
申请公布日
2014-01-15
授权公布号
CN103515347B
授权公告日
2016-05-11
分类号
H01L23/498;H01L25/00;H05K1/18
分类
基本电气元件;
申请人名称
环旭电子股份有限公司
申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区集成电路产业区张东路1558号
专利法律状态
2016-08-03
著录事项变更
状态信息
著录事项变更IPC(主分类):H01L 23/498变更事项:发明人变更前:赖亮顺变更后:赖亮顺 李致苇
2016-05-11
授权
状态信息
授权
2014-02-19
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/498申请日:20120629
2014-01-15
公布
状态信息
公布
摘要
本发明关于一种组装结构,包括基板、晶圆片及上盖。基板具有承载面,承载面具有晶圆片承载区与沟槽,且沟槽围绕晶圆片承载区。晶圆片设置于晶圆片承载区内,上盖则是盖设于基板上而将晶圆片封于上盖与基板之间。相较现有技术,本发明的组装结构的基板的沟槽环绕在晶圆片承载区周围,有效地隔绝施加于基板表面上的应力,免除此应力对晶圆片承载区中的晶圆片的冲击,因而确保晶圆片可正常运作。
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