柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法及系统

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专利状态

柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法及系统

有效

专利申请进度

申请

2012-12-28

申请公布

2013-04-10

授权

2015-07-22

预估到期

2032-12-28

专利基础信息

申请号	CN201210581766.4	申请日	2012-12-28
申请公布号	CN103031531A	申请公布日	2013-04-10
授权公布号	CN103031531B	授权公告日	2015-07-22
分类号	C23C16/26;C23C16/44;C01B31/02;B82Y40/00
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	苏州汉纳材料科技有限公司
申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区07栋102室

专利法律状态

2016-02-10

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):C23C16/26；变更事项:专利权人；变更前:苏州汉纳材料科技有限公司；变更后:苏州汉纳材料科技有限公司；变更事项:地址；变更前:215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4-508；变更后:215125 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区07栋102室
2015-07-22

授权

状态信息

授权
2013-05-08

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C16/26；申请日:20121228
2013-04-10

公布

状态信息

公布

摘要

一种柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法及系统。该方法包括：在FCCVD装置的炉管低温区置入卷成筒形的可挠式薄片；向FCCVD装置内输入原料进行碳纳米管合成反应，同时匀速转动炉管，使生成的碳纳米管均匀沉积在可挠式薄片内壁上形成连续的碳纳米管薄膜；利用卷对卷方式将碳纳米管薄膜转移至柔性衬底上获得目标产物；该系统包括：用以合成碳纳米管的FCCVD装置；被卷成筒形后置于FCCVD装置的炉管内的可挠式薄片，用于沉积形成连续均匀的碳纳米管薄膜；以及碳纳米管薄膜转移装置。本发明工艺简单，易于实施，高效且成本低廉，易实现大规模生产，且无需对碳纳米管进行分散处理，不会损伤碳纳米管，因此获得的透明导电薄膜有更好的电学性能，具有更重要的实用价值。

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