一种微纳结构光散射式浊度检测传感器及其制备工艺

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专利状态

一种微纳结构光散射式浊度检测传感器及其制备工艺

有效

专利申请进度

申请

2020-07-27

申请公布

2020-11-03

授权

2022-09-27

预估到期

2040-07-27

专利基础信息

申请号	CN202010729511.2	申请日	2020-07-27
申请公布号	CN111879731A	申请公布日	2020-11-03
授权公布号	CN111879731B	授权公告日	2022-09-27
分类号	G01N21/49;B82Y15/00;B82Y40/00
分类	测量；测试;
申请人名称	宁波水表（集团）股份有限公司
申请人地址	浙江省宁波市江北区洪兴路355号

专利法律状态

2022-09-27

授权

状态信息

授权
2020-11-03

公布

状态信息

公布

摘要

一种基于光散射式测量法检测自来水中浊度的光学微纳传感器。基于MEMS技术，该传感器以硅片为衬底，基于硅的各向异性腐蚀特性制备检测光与参考光通道；采用散射式测量法，选择850nm的红外光作为光源，选择带有黑色蔽光罩的红外接收器作为探测器，以有效地减少自然光的干扰。本发明提出的浊度传感器具有如下显著优点：1）微型化，硅基微纳结构可以有效解决检测光和参考光光路的问题，大幅减小传感器的体积；2）批量制备、低成本、易集成，将浊度传感器的制备与MEMS工艺结合，实现浊度传感器的芯片化和批量制造。该设计实现浊度检测传感器的耐用性、高性能、小型化，可以结合采集电路模块和误差修正模块使其拥有更长的寿命与检测精度。

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